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又稱為砷化氫、砷化三氫、甲鍺烷、是一種有毒、易燃的氣體(化學式：AsH3)
砷烷是一種溶血性毒物，可中毒神經。 用 途： 砷烷用于半導體工業中外延硅的“N”型摻雜，硅中“N”型擴散，離子注入，生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導體。 工業上生產的砷烷用于有機合成，同時應用在太陽能光伏行業、集成電路等。
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